モデルベース画像データ処理システム

1. マスクパターン欠陥検査用簡易参照画像シミュレータ
   「ACIS: ALITECS Computational Inspection System: RIG “ALITECS Reference Image Generator”」
2. マスクパターン欠陥検査ソフトウェア
   「ACIS: ALITECS Computational Inspection System: SIP “ALITECS Software defined Image Processor”」